GB_T 16594-1996
|
ID： |
8DD199115B5740F58600229F0C8F0CE1 |
|
文件大小(MB)： |
0.09 |
|
页数： |
5 |
|
文件格式： |
|
|
日期： |
2013-6-23 |
|
购买： |
文本摘录（文本识别可能有误，但文件阅览显示及打印正常，pdf文件可进行文字搜索定位）：
ICs 17.040.01,N 33 噶8,中华人民共和国国家标准,GB/T 16594一1996,微米级长度的扫描电镜测量方法,Micron grade lenght measurement by SEM,1996一11一04发布1997一04一01实施,国家技术监督局发布,Gs/T 16594一1996,前言,本标准是一个测量方法标准，其量值可以溯源到长度基准,本标准主要用于测量微小颗粒的直径、薄层厚度、线条宽度、线条距离、线维直径、刀刃的曲率半径,本标准可与JJG550-88扫描电子显微镜检定规程并列使用,本标准由全国微束分析标准化技术委员会提出并归口,本标准起草单位:上海市测试技术研究所、中国船舶总公司725研究所,本标准主要起草人:张训彪、徐国照、高文华,中华人民共和国国家标准,微米级长度的扫描电镜测量方法Ga/T 16594一1996,Micron grade lenght measurement by SEM,1 范围,本标 准 规 定了用扫描电镜测量微米级长度的方法，适用于测量。.5^ -10K m的长度，也适用于电子,探针分析仪测量微米级长度,2 引用标准,下 列 标 准包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。在标准出版时，所示版本均为,有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性,JJG 5 50 -88 扫描电子显微镜检定规程,基本原理,这 是 一 种比较测量方法。其基本原理是:先用扫描电镜获得待测样品和微米级标尺(以下简称标,尺)的二次电子像，然后用比长仪测量出底片上标尺图像的分度长度(A)和样品图像中待测的两个特征,点之间的长度〔B)。样品中待测的实际长度(L)按式(1)计算,(1),.月,B一A,一一,L,式中:h— 标尺分度的标定值,4 标准器和仪器设备,标尺:应经过法定计量机构标定,扫描电镜:分辨力优于0. 01 km,比长仪:量程不小于60 mm，误差不超过士5 km,光学显微镜:放大倍数不小于40倍,试验方法,JI 八了﹄ q︺ J﹃, …,月﹃ j﹃ 月q 月咔亡﹂,5.1 样品的准备,5.1.1 将待测样品置于样品柱上，用光学显微镜观测，将样品的工作面调整到与样品柱垂直，然后用导,电胶将样品固定,5.1.2 若样品不导电，应在样品表面喷镀厚度大约为10 nm的金,5.1-3 将样品柱置于样品座上，并调整到标准高度,5. 1.4 按5.1.1^-5.1.3方法，将标厂于样品座上,5.1.5 用光学显微镜观测，先将样品置于视场中，调节光学显微镜，使样品工作面正焦,吓1.6 平移样品座，使标尺置于视场中，调节标尺高度，使标尺工作面正焦,国家技术监督局1996一11一04批准1997一04一01实施,r,cB /T 16 5 94 一 1 99 6,5.1.7 将样品座固定在扫描电镜的样品台上,5-2 拍摄样品的二次电子像,5.2.1 将扫描电镜调整到最佳工作状态。样品台倾斜角度调整到零,5-2.2 根据待测的长度选用合适的放大倍数。待测长度的二次电子像一般应不小于5 mm.,5.2.3 将样品中待测部位调整到视场中心，选择最佳条件拍摄二次电子像,5.3 拍摄标尺的二次电子像,5. 3}， 扫描电镜处于与5.2相同的状态,5.3.2 选取与待测长度接近的标尺分度，将其移到视场中心,5.3.3 旋转祥品台，使标尺分度方向与样品中待测长度方向平行，聚焦后拍摄二次电子像,5.4 底片的测量,5-4.1 测量底片上标尺图像的分度长度(A).,5.4.1.1 将底片夹于两块平面玻璃之间，置于比长仪的测量台上,5.4.1.2 调节比长仪的瞄准镜，使底片的像清晰。转动底片，使底片上标尺的分度方向平行于比长仪测,fiT方向,5.4.13 瞄准标尺像的一条分度线的中间位置读出坐标值，然后瞄准另一条分度线的中间位置，也读,出坐标值，两次读出的坐标值之差为分度长度,5.4.1.4 连续测量三次，取三次测得值的算术平均值为A.,5-4.2 测量底片上样品图像中待测长度(B),测量方法与5.4.1相同。如果待测长度是物体的宽度，应,该瞄准物体边界黑度的峰位和谷位的中间位置,6 橄据处理,样 品 中 待测的实际长度(L)按式(1)计算,7 测里误差,测 量 误 差(9)按式(2)计算,B = 士 ,/ P /h x( e ' 十 d Z )十 dZ,式中:d— 扫描电镜分辨力，pm;,人— 标 尺分度的标定值，pm;,e— 标 尺 分 度的标定误差，pm;,L— 样 品中待测的实际长度，PM.,.. . ”.”. “. . (2),GB/'r 16594一1996,附 录A,(标 准的附录),误差分析,A1 误差来源,标尺分度值的标定误差,扫描电镜的分辨力误差,比长仪的测量误差,JI 弓‘‘ ， J,月.. 曰J.. 目.1,A A A,A2 误差的估计,A2.1 标尺分度值的标定误差由标定单位给出，设为士e.,A2.2 扫描电镜的分辨力由仪器的种类而定，设为士d,A2.3 比长仪的计量误差<10 Wm，由于用比长仪测量是测量放大的图像，所以误差按放大倍数缩小,扫描电镜的放大倍数一般都比较大，所以比长仪的测量误差就可以忽略不计了,A3 误差的传递,A3.1 标准中样品中待测的实际长度(I)按式(Al)计算:,(Ai),式中:A— 标尺图像的分度长度;,B— 样 品 图 像中待测的两个特征点之间的长度;,h— 标 尺 分度 的标定值,A3.2 对式(A1)进行微分处理:,AI = B /A X A h + h /A X A B ……
……